N & K 기술로 만든 300mm 웨이퍼 용 Selete

Inabata Sangyo는 30 일에 30 일에 N & K 기술 (캘리포니아)의 300mm 웨이퍼에 대한 박막 특성 스포츠 토토 배트맨 장치 인 미국 반도체 스포츠 토토 배트맨 장치 벤처 벤처 (Selete Co., Ltd.) (Tsukuba Curitory, Ibaraki).

분석기는 새로운 High-K 재료를 사용하는 게이트 단열 필름의 두께 및 품질을 스포츠 토토 배트맨하는 것을 포함하여 프론트 엔드 프로세스를 개발하고, LILD (Low-K interrayer insulating films) 및 얇은 층 장벽계와 관련된 백엔드 프로세스의 특성을 스포츠 토토 배트맨하는 데 사용됩니다.

Selete는 2004 년까지 저 K 일드 재료를 사용하여 고 K 게이트 절연 필름과 다층 배선 구조를 갖춘 65nm 기술 노드에 대한 장치 프로세스 기술을 개발하고 있지만, 노드의 엄격한 요구 사항을 충족하는 재료 특성 스포츠 토토 배트맨 및 재료 별 기술은 중요한 포인트가 될 것입니다.

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N & K는 미국에서 박막 부동산 스포츠 토토 배트맨 장치를 제조하고 판매하는 벤처 회사입니다. 이미 전 세계의 연구 개발 및 생산 라인에 실적이 있습니다.

Inabata Sangyo Co., Ltd.
Inabata Sangyo (TSE, OSE : 8098)는 IT & 전자, 화학 물질, 플라스틱, 생활 환경 및 식품과 같은 비즈니스 분야에서 항상 혁신적인 솔루션과 서비스를 제공합니다. 창립 이래로 고급 전문 지식과 노하우를 기반으로 비즈니스 계획, 마케팅, 제조 및 물류를 통해 광범위한 요구를 충족 시켰습니다.
IT 및 전자 분야에서는 액정 및 반도체 관련 장치, 재료 및 화학 제품에 대한 총 솔루션을 제공하며 테스트 및 어셈블리 그룹은 반도체 특성 스포츠 토토 배트맨 장비를 담당합니다.

Selete
Selete는 1996 년에 미래의 반도체 기술과 호환되는 최첨단 기본 기술을 연구하고 차세대 반도체 제조 장비 및 재료를 평가하기 위해 설립되었습니다. Selete는 ASUKA 프로젝트의 주요 힘으로 0.1 ~ 0.07μm의 SOC (System-on-Chip) 설계 기술 및 장치 프로세스 기술을 개발하는 것을 목표로합니다.

N & K 기술
N & K는 반도체, 포토 마스크, 평면 패널 디스플레이, 데이터 스토리지 등을 포함한 광범위한 제조 산업에 제품을 제공합니다. N & K가 제공하는 시스템은 비용 효율적이고 사용하기 쉽기 때문에 탁상 모델에서 완전 자동 300mm 생산 도구에 이르기까지 다양한 모델을 제공합니다.

N & K 3300 분석기
N & K3300 분석기는 300mm 웨이퍼를 지원하고 고유 한 "Forouhi-Bloomer 모델", 깊은 자외선에서 근처에서 혁신적인 광학 요소 기술로 구성된 고유 한 "Forouhi-Bloomer 모델"으로 구성된 완전 자동 도구입니다.

분석기는 필름 두께, 광학 상수 (굴절률 N 및 멸종 계수 k), 190 ~ 1000 nm, 에너지 밴드 갭, 인터페이스 거칠기 등을 고속, 비가 박리 및 비파괴 적으로 스포츠 토토 배트맨합니다.

또한, 결정된 광학 상수와의 상관 관계에 의해, 박막의 유전 상수 및 저항과 같은 전기적 특성을 평가하고 관리 할 수 ​​있으며, 트렌치 깊이 및 위상차 스포츠 토토 배트맨과 같은 미세한 치수를 스포츠 토토 배트맨하기위한 고유 한 적용으로도 사용될 수있다.

스포츠 토토 배트맨 목표는 절연 필름에서 유기농 필름 및 금속 박막에 이르기까지 다양하며, 100 μm 이상의 20A 이하의 두꺼운 필름을 스포츠 토토 배트맨 할 수 있기 때문에 FPD 및 데이터 저장뿐만 아니라 반도체에도 적용될 수 있습니다.

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Inabata Industry Public Relations Officer : kawabata (akikok@inoue-pr.com)
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